低溫等離子體技能在廢氣處理中的應用跟著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業發生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不只會在大氣中停留較長的時間，還會分散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康發生極大的危害；另外工業煙氣的無控制排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的注重。因為大氣受污染而酸化，導致了生態環境的損壞，嚴重災難頻頻發生，給人類造成了巨大損失。因而選擇一種經濟、可行性強的處理辦法勢在必行。

　　降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理辦法如吸收、吸附、冷凝和焚燒等，關于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑簡單失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs能夠不受上述條件的約束，具有潛在的優勢。但因為等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反響工程學及真空技能等基礎學科之上的交叉學科。因而, 現在能老練的把握該技能的單位十分的少。大部分宣傳選用低溫等離子技能處理廢氣的宣傳都不是真實意義上的低溫等離子廢氣處理技能。

　　等離子有機廢氣凈化器作業原理是選用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使經過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。
　　在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反響室時，氣體被均勻分配到等離子反響室（PRC）。反響室分成149根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反響室獨立隔開。經過高壓線對反響室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁發生放電現象。
　　一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，發生化學性活性核素，就是通常所說的急進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功用，該裝置能夠除塵。
　　同時注入環境或許二級氣體來優化反響室的濕度和溫度掛號，與此同時加入離子來改進反響室內的反響。這種冷離子體處理辦法使有機氣體在低溫下進行“氧化”。
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